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发布时间:2022-04-25 04:47:00 作者:豪俊净化
在无尘净化车间中,可见的污染源总是较为容易控制的。但对于微生物这类肉眼不可见的污染,想要控制就需要严格的管理搭配良好的净化手段才能对其进行一定的控制。从生物洁净技术的角度来说,在无尘净化车间中控制微生物的污染主要有四个原则:
1.对进入无尘净化车间的空气进行充分地灭菌,例如在净化空调上安装多重过滤器,安装臭氧发生器等。
2.对室内的微生物进行迅速而有效地排除,这里的措施主要有对换气次数和回风系统的优化。
3.不让无尘净化车间内的微生物聚集和繁衍,这主要要靠室内的气流和合格的净化装修模式来实现。
4.防止进入车间的人员、设备和材料携带,在其进入无尘净化车间之前对其进行充足的净化。
无尘车间对装饰装修有很高的要求,尤其对饰面材料在施工时需注意防积尘和抗静电。为此,并制定了相应的施工措施。
(1)在内墙面层施工时,为保证腻子施工质量,先在抹灰面上涂刷一遍封闭漆结合层,再满刮腻子后涂刷抗静电高分子复合涂料,使墙面达到平整、清洁、不起尘的洁净要求。
(2)厂房内洁净区采用环氧树脂自流平地面,该地面施工速度快,耐腐蚀,整体性好,光滑平整,不起尘,寿命持久。
无尘车间设计噪音的控制:
1、声压级应该根据人员的舒适和安全及环境(如其它设备)产牛的背景声压级来选择需要的声雎级。其他制冷设计、风管系统设计、照明电气、内装修、地面处理都应按照相应设计规范严格处理。洁净室.漫施标准的A-1J权声压级范围在55 dB - 65 dB。有些应用可能要求的级别较低,或能容忍较高的级别。噪声控制的测量应该按照IS0 3746进行。
2、洁净室设施巾振动是个需要考虑的重要问题,凶为它对工艺、人的舒适和设备及系统的有效使用期限都会产生不利的影响。
3、净化车间设计安装中应通过采用风机和振动控制设备等方法尽可能减少振动,或把振动源隔离。
4、如要求控制振动,应按IS0 1940-1和IS0 10816-1规定允许的级别。
5、无尘车间设计应该考虑节能措施,如在没有任何活动时减少或关闭温度和湿度控制,降低空气流速。但应能够在规定的自净期内恢复到使用条件。
根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型:循环空调机配合送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。
种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用,对于大面积高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。
第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间大面积高等级的要求,但运行成本较高,并且洁净室风速、风量调节困难,系统升级改造困难,因此操作灵活性很低。
第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低,而且操作灵活性很高,可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整,这些都能很好地满足半导体制造的需求,因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为1主要的净化设计方案。
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