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发布时间:2022-05-28 08:48:00 作者:豪俊净化
在一些集成电路的精密机械车间中,对于无尘车间的洁净程度更加严格。甚至空气中的温度是需要控制在正负不超过二摄氏度的范围,原因在于集成电路的零部件极1小,微小的温差极可能带来零部件的膨胀或者收缩,直接影响到成品率。无尘车间正压值是指门窗全部关闭状态下,室内静压大于室外静压的数值。
因此无尘车间前需要建设一定面积的缓冲区域,在人员、设备和物料进入无尘车间之前需要先在缓冲区域进行初步的清洁,保证其上含有的污染物被清除,不会对车间内的环境造成负1面的影响。这种缓冲区域称之为风淋车间。
无尘车间的清洁要求
??(1)、清洁洁净室内的墙时应使用洁净室无尘布;
??(2)、用90%去离子水和10%的异丙1醇配置清洁剂;
??(3)、使用已获批准的洁净室去污剂;
??(4)、每天都要检查车间和整备间的垃圾箱,并及时清走。
??(5)、每块地板都要吸尘。每次交接班时,都应在地图上标明工作完成情况,例如在哪结束从哪开始。
??(6)、清洁洁净室的地面应使用拖把。
??(7)、在洁净室里吸尘应使用带有过滤器的真空吸尘器。
??(8)、所有的门都需要检查并擦干
??(9)、吸完地以后再擦地。一周擦一次墙面。
??(10)、架空地板下也要吸尘及擦拭。
?? (11) 、三个月擦一次架空地板底下的柱子和支撑柱。
??(12)、工作时一定要记住,永远是由上往下擦,从离门远的地方向门的方向擦。
集成电路无尘车间是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室,该无尘车间对环境洁净度、温湿度、振动、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相对于其他工业洁净室,集成电路制造无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。浙江无尘车间的天花板要求较为统一,除了洁净度之外,吸水能力和抗腐蚀能力有着一定的需求。
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