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发布时间:2022-06-26 16:31:00 作者:豪俊净化
在无尘车间工程开始之前,要先确定整个工程的规范和流程才能让后续的施工和使用得到有条不紊的进展。其具体如下:
1.首先要确定无尘车间工程的目的,此步骤主要在于确定无尘车间为何而建,建设的要求,建设完成之后要达到的效果。
2.确定整个无尘车间工程的施工范围以及洁净度的范围。其中洁净度的范围包括温湿度的范围、粒子数目的范围、风量和风速的范围。
3.确定整个无尘车间工程中的全责,哪个人负责那一区域的净化、哪个人负责哪个产品的净化、哪个人负责指导、哪个人负责检查。
4.确定作业的内容,具体如净化空调怎么安装、地板和墙面怎么安装、安装时采用什么主材料和辅助材料。
5.确定完成作业之后的维护方法,并且交代相关的工作人员进行定期检查。
无尘车间内之注意事项
1、进入无尘车间之油漆或物品须先经空气清洗除尘之手续。
2、在无尘车间中制止抓头、抹脸或搓手。
3、严禁在设备上书写及刻画。
4、在无尘室有必要运用洁无尘室纸笔。
5、防止在机器上运用胶带张贴纸张。
6、当运用气1***时,有必要置于除尘抽风口,以免尘埃污染产品。
异常情况处理
1、在设备发生异常情况(非紧迫情况),请先与设备之担任人或设备部工程师联络后再作处置。
2、遇有气体外泄,化学品翻洒及火警等紧迫情况请告诉担任人员。
废弃物处理
1、一切废弃物及用过之化学品应依规则之方式处理及倾倒。
2、随时坚持整洁,勿将废物留给别人,手套、指套、废弃物请勿随手丢,应置入废物桶内。
3、勿将酸及有1机溶剂混合倾倒,以免爆1破。
4、有1机废溶剂应倒入容器中贮存,勿倒入排水体系中。
10万级无尘车间标准:尘粒1大允许数大或等于0.5微米的粒子数不得超过3500000个,大于或等于5微米的粒子数不得超过20000个。
尘粒无处不在,侵蚀风化产生的,人体自然散发的,数不胜数,严重干扰电子光学产品的生产。此外,尘粒是细菌、病毒的良好的载体,也影响了食品的加工。净化车间工程的首要任务便是“除尘”。
0.5微米是什么概念?一根头发丝的直径约为70~100微米,细菌的大小约为1微米~2微米,通过净化空气系统,使大于或等于5微米的粒子数不得超过20000个,洁净度非常高。
根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型:循环空调机配合送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。
种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用,对于大面积高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。
第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间大面积高等级的要求,但运行成本较高,并且洁净室风速、风量调节困难,系统升级改造困难,因此操作灵活性很低。
第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低,而且操作灵活性很高,可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整,这些都能很好地满足半导体制造的需求,因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为1主要的净化设计方案。
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