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发布时间：2021-11-07 07:23:00 作者：豪俊净化
工业生产的自然环境湿度是影响空气环境质量的重要因素。很多工业产品必须在规定湿度下才能生产出来。无尘车间的温湿度既要满足工艺生产要求，又要满足人的舒适度，温湿度等级根据洁净度的要求进行调整。就苏州工业园区电子厂房净化工程而言，在大规模集成电路进行生产光刻曝光过程中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。 湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。十万级无尘车间的建筑围护界区和室内装修，应选用气密性良好，且在温度和湿度变化的作用下变形小的材料。
无尘车间都要通过保持室内静压高于非洁净区的静压，来防止污染，内外压力差需要保持：洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力；相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间；洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。
净化车间关键技术参数： 温度范畴：18℃～28℃，可调节。 环境湿度范畴：40%～85%，可调节。 换风：依据清洁级别规定。 排风量：≥30立方米/钟头/人。 静压差：≥5Pa(不一样清洁级别区域中间)。 静压差：≥10Pa(清洁区域和非清洁区域中间)。 尘粒数1多容许数：依据清洁级别规定。 蜉蝣菌数：依据清洁级别规定。 地基沉降菌数：依据清洁级别规定。 检测方式：*** 50591-2010。 完1美的外型、合理的设计方案。无尘车间人员管理制度：一、无尘车间的人员管理：包括有制定专职管理人员的职责、洁净室人员的准入制度、人员培训教育规定、进入洁净室人员的“人净程序”管理和退出管理制度等。
从无尘车间的加工工艺特点来看，人们所知目前合适做无尘车间地坪材料关键两大主流1产品：环氧自流平和混凝土固化地坪。无尘车间地坪材料的采用，沒有说“某类原材料一定好”的叫法。一般来说，这仍必须考虑到下***的难题，具体方法则要是人们从施工预算和作用规定来看，来选择适合自己要求的地坪材料。在挑选上，倘若费用预算偏少，且工厂里沒有大中型机械设备，不规定抗压耐重得话，挑选环氧自流平就可以。相反，若工厂内十几吨重的机械设备，规定环氧地坪要够硬，使用期要够长得话，混凝土固化地坪当然变成优选。由于技术竖井把各层串1通起来，为了防火，内部管线安装完成后，要在层间用耐火极限不低于楼板的材料封闭，检修工作分层进行，检修门必须设防火门。
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