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发布时间：2021-12-03 01:44:00 作者：豪俊净化
进入无尘车间前之注意事项
1、任何人进入无尘车间作业或观赏，须依规则换穿无尘衣。
2、非经无尘车间主管许可不得将私人物品（手提袋、书本等）及非洁净室所运用之东西携入无尘车间；维修用之手册及东西在用毕后应立即收起。
3、原物料进无尘车间时，需先在外面拆箱及拭净，并置于货品风淋室携入无尘车间。
4、无尘车间、办公区均为禁烟区，若有吸烟，须于抽后并漱口后，方可进入无尘车间。
5、在无尘车间内，不得饮食、嬉闹，或从事其它与出产无关的事情。
6、进入无尘车间者应坚持身体洁净，头发应常梳洗，并制止运用香水及化妆品。
7、进入无尘车间内不得穿着短裤及布鞋、袜子。
对于无尘车间面积小，较分散；对振动、噪声等的控制要求相对较低的情况下，适合采用分散式空调净化系统。其优点是投资费、运行费、占用建筑面积及空间都较集中式系统节省。在做沉降菌检测时，须有特殊的培养皿，每个培养皿内放置由特定的营养物质，在车间放置一段时间，根据营养物质中生长的细菌数量，便可测算出空气中沉降菌的数量。一个比较典型的分散式空调净化系统为例，分析讨论如下。
??风热湿比线占。
??②根据房间余热量Q或余湿量W，按净化级别所要求的通风量G，确定在占线上的送风状态点S。Q-G（iN -/S）。
??③过S点作等d线，并根据加压风机的压头及其后的管道、静压箱与周围环境的换热决定气流的温升缸，一般情况At的值不大于1℃，根据温升量出，在过S的等d线确定c-，使At= ts - tc’。
??④根据空调机组在给定条件下的制冷量Qk及空气质量流量G。，确定其单位风量的携冷量△f。即室内回风经空调机组处理后的焓降量iN -/K。
??QK／GK=△f=iN -/K 。
??以N点为圆心，以iN -/K值为半径画弧线与。=90%～95%相对湿度线相交于K点。由N至K点的变化过程应是降温去湿的减焓过程。
??⑤连结K点与Os点。延长N点与C、点的连线与KQs线相交于C点。C点即为新风与经空调机组处理的回风的混合状态点。
集成电路无尘车间是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室，该无尘车间对环境洁净度、温湿度、振动、ESD、AMC控制等都有一定的要求。无尘车间设计噪音的控制：1、声压级应该根据人员的舒适和安全及环境(如其它设备)产牛的背景声压级来选择需要的声雎级。相对于其他工业洁净室，集成电路制造无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。
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