张掖净化手术室工程承诺守信「豪俊净化」

进入无尘车间前之注意事项

　　1、任何人进入无尘车间作业或观赏，须依规则换穿无尘衣。

　　2、非经无尘车间主管许可不得将私人物品（手提袋、书本等）及非洁净室所运用之东西携入无尘车间；维修用之手册及东西在用毕后应立即收起。

　　3、原物料进无尘车间时，需先在外面拆箱及拭净，并置于货品风淋室携入无尘车间。

　　4、无尘车间、办公区均为禁烟区，若有吸烟，须于抽后并漱口后，方可进入无尘车间。

　　5、在无尘车间内，不得饮食、嬉闹，或从事其它与出产无关的事情。

　　6、进入无尘车间者应坚持身体洁净，头发应常梳洗，并制止运用香水及化妆品。

　　7、进入无尘车间内不得穿着短裤及布鞋、袜子。

无尘车间相对湿度控制不好，就有可能使无尘车间总体表现下降，而且还会带来以下这些一系列的影响。

　　1、细菌生长。细菌和其他生物污染(霉菌，病毒，真菌，螨虫)在相对湿度超过60%的环境中可以活跃地繁殖。一些菌群在相对湿度超过30%时就可以增长。此类的材质在消毒处理上需要较为容易处理，且少部分行业需求有一定坡度的地面。而相对湿度处于40%至60%的范围之间时，可以使细菌的影响以及呼吸道感1染降至1低。所以无尘车间的相对湿度需要控制在一定范围。

　　2、相对湿度控制不好，容易造成无尘车间工程里的金属腐蚀。很多化学反应的速度，包括腐蚀过程，将随着相对湿度的增1高而加快。所有暴露在无尘车间周围空气中的表面都很快地被覆盖上至少一层单分子层的水。当这些表面是由可以与水反应的薄金属涂层组成时，高湿度可以使反应加速。一些金属，例如铝，可以与水形成一层保护型的氧化物，并阻止进一步的氧化反应；另一种金属，例如氧化铜，是不具有保护能力的。5、在无尘车间内，不得饮食、嬉闹，或从事其它与出产无关的事情。在高湿度的环境中，铜制表面更容易受到腐蚀。

　　3、无尘车间相对湿度控制不好会出现静电荷。当相对湿度超过50%时，静电荷开始迅速消散，但是当相对湿度小于30%时，它们可以在绝缘体或者未接地的表面上持续存在很长一段时间。甚至空气中的温度是需要控制在正负不超过二摄氏度的范围，原因在于集成电路的零部件极1小，微小的温差极可能带来零部件的膨胀或者收缩，直接影响到成品率。无尘车间相对湿度在35%到40%之间可以作为一个令人满意的折中，半导体无尘车间一般都使用额外的控制装置以限制静电荷的积累。

　　4、吸水性。相对湿度控制不好，对无尘车间吸水性产出一定的影响。

　　5、水汽冷凝。在相对湿度较高的无尘车间工程环境中，浓缩水形的毛细管力在颗粒和表面之间形成了连接键，可以增加颗粒与硅质表面的黏附力。(2)接着是净化帽，带上这个后头部就只有眼睛露在外面了，其他部位都被罩住了，说是帽子，其实把上身都快遮完了。这种效应称为凯尔文浓缩，就是当相对湿度小于50%时并不重要，但当相对湿度在70%左右时，就成为颗粒之间黏附的主要力量。

根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型：循环空调机配合送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。

种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用，对于大面积高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。

第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间大面积高等级的要求，但运行成本较高，并且洁净室风速、风量调节困难，系统升级改造困难，因此操作灵活性很低。

第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低，而且操作灵活性很高，可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整，这些都能很好地满足半导体制造的需求，因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为1主要的净化设计方案。