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进入无尘车间前之注意事项

　　1、任何人进入无尘车间作业或观赏，须依规则换穿无尘衣。

　　2、非经无尘车间主管许可不得将私人物品（手提袋、书本等）及非洁净室所运用之东西携入无尘车间；维修用之手册及东西在用毕后应立即收起。

　　3、原物料进无尘车间时，需先在外面拆箱及拭净，并置于货品风淋室携入无尘车间。

　　4、无尘车间、办公区均为禁烟区，若有吸烟，须于抽后并漱口后，方可进入无尘车间。

　　5、在无尘车间内，不得饮食、嬉闹，或从事其它与出产无关的事情。

　　6、进入无尘车间者应坚持身体洁净，头发应常梳洗，并制止运用香水及化妆品。

　　7、进入无尘车间内不得穿着短裤及布鞋、袜子。

根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型：循环空调机配合送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。

种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用，对于大面积高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。

第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间大面积高等级的要求，但运行成本较高，并且洁净室风速、风量调节困难，系统升级改造困难，因此操作灵活性很低。

第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低，而且操作灵活性很高，可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整，这些都能很好地满足半导体制造的需求，因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为1主要的净化设计方案。