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环保和节能一直都是各个行业生产和开发侧重的目标，无尘净化车间建设长期以来注重的都是室内的清洁，往往忽略了节能和对外界的环保概念。

   随着无尘净化车间产业的渐渐壮大，各个厂家开始将目光转向节能环保的目标，各种措施和手段也开始渐渐实施。

   从无尘净化车间的设计来说，各个厂家已经开始注重从车间的样式设计开始考虑对能源的节约。只要特点为降低外墙的建筑面积、采用隔热性能和密封性能较好的建筑材料。这些措施从节流的方面做到了节能的效果。

   其次，对于无尘净化车间整体面积的缩小也开始实施。整体建设面积的变小使得室内的送风换气量出现明显的下降，既满足了室内洁净度更高的要求，也达到了节能减排的效果。既注重了无尘净化车间本身的节能，也估计了对外界环境的环保。

无尘车间硬件设施的维护管理

1.无尘车间保持适当的正压(> 0.5mmAq)，防止洁净系统漏风。人员、设备和原材料进入无尘车间前，应做好清洁、擦拭等防尘工作，并妥善管理和设置空气过滤器。

2.防止室内粉尘产生:注意无尘车间材料的正确选择，如隔板和地板；制造设备的防尘、生产自动化和人员不聚集、清洁服装的管理、无尘车间设备的使用等。

3.室内灰尘不堆积:墙体应光滑无死角，无尘车间应定期维护和清洁，工艺设备周围应留有空间。

4.发生尘埃立即排除。

无尘车间对装饰装修有很高的要求，尤其对饰面材料在施工时需注意防积尘和抗静电。为此，并制定了相应的施工措施。

（1）在内墙面层施工时，为保证腻子施工质量，先在抹灰面上涂刷一遍封闭漆结合层，再满刮腻子后涂刷抗静电高分子复合涂料，使墙面达到平整、清洁、不起尘的洁净要求。

（2）厂房内洁净区采用环氧树脂自流平地面，该地面施工速度快，耐腐蚀，整体性好，光滑平整，不起尘，寿命持久。

根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型：循环空调机配合送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。

种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用，对于大面积高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。

第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间大面积高等级的要求，但运行成本较高，并且洁净室风速、风量调节困难，系统升级改造困难，因此操作灵活性很低。

第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低，而且操作灵活性很高，可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整，这些都能很好地满足半导体制造的需求，因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为1主要的净化设计方案。